2026湾芯展开幕，国产半导体设备与SiC模块集中发布

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据科创板日报10月14日报道，2026湾芯展在深圳开幕，汇聚1000余家企业。中微公司展出Primo XD-RIE刻蚀设备，并计划未来3至5年累计开发102款新设备，研发总投入近130亿元。拓荆科技发布PF-300M PECVD及Flowable Carbon技术。华海清科发布国产首台中束流离子注入机IHQ-900E。方正微电子推出SiC DIP32功率模块，已获批量订单。华润微提出AI供电向800V高压直流转型等四大技术变革。展会吸引超3000位国际专业观众。