米莱芯程展出i-line光刻核心部件

发生了什么

据科创板日报2026年10月19日报道，上海米莱芯程半导体有限公司携全资子公司上海芯颐和科技有限公司，在2026湾区半导体产业生态博览会上公开展示了基于系统工程方法研发的i-line光刻曝光系统核心部件。该举措旨在填补国内成熟制程装备自主供给空白。行业数据显示，国内整体市场规模约50亿元，但核心曝光系统国产化率不足1%。