ASML拟增30% EUV产能，蔡司扩产成瓶颈

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据EE Times报道，ASML在10月14日季度业绩中表示，正调查2028年额外制造产能，此前计划为2027年低NA EUV产能增加30%（从约65台增至更多）。部分客户已对2029和2030年的订单感兴趣。蔡司光学系统扩产是关键瓶颈，其生产能力和测量设备容量将影响ASML响应高需求的速度。ASML年报曾指出蔡司产能限制其制造光刻机数量。