浙大团队国内首发硅-28 硅烷特气与外延片

发生了什么

据IT之家报道，浙江大学杭州国际科创中心量子信息硅团队在国内首次发布了硅-28 硅烷特气与 4 英寸硅-28 外延片。经检测，硅-28 硅烷特气的硅-28 同位素丰度为 99.99576%，化学纯度为 99.99998%。外延层中的硅-28 丰度为 99.9937%。该成果填补了国内相关材料空白，为硅基量子芯片研发提供了国产衬底材料选项，但尚未涉及量子器件核心指标表现。