俄罗斯130nm光刻机完成验收成本约650万美元

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据新浪科技援引CNews报道，俄罗斯泽列诺格勒纳米技术中心与白俄罗斯普拉纳尔公司合作开发的130nm光刻机已完成第三阶段设计验收，证书于2026年8月7日签署。该设备用于将集成电路图形投影至200毫米晶圆。制造成本估计为5.422亿卢布（约650万美元）。