蔡司备好高数值孔径EUV镜头

发生了什么

蔡司宣布完成高数值孔径EUV镜头准备，支持三星、SK海力士扩产。蔡司是全球唯一能量产极紫外光刻机厂商ASML的独家镜头供应商。高数值孔径EUV技术将提升分辨率，预计两到三年内量产。蔡司从六年前开始开发相关量测方案，并扩建德国工厂生产所需设备。