东方晶源实现量检测与计算光刻自主化

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据科创板日报报道，东方晶源已实现电子束量检测设备与计算光刻软件的自主化，并利用同一套良率优化语言将两者打通。该公司自2014年起提出以电子束量检测和计算光刻为核心的芯片设计制造全流程优化方案（HPO）。目前，东方晶源正推进科创板IPO，拟募资25亿元用于良率管理设备与计算光刻EDA升级。