Fraunhofer-IMS合作支撑EUV光刻掩模制造

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据EE Times报道，德国弗劳恩霍夫硅技术研究所（ISIT）与奥地利IMS Nanofabrication建立合作关系。ISIT为IMS的极紫外（EUV）光刻多束电子束系统提供关键芯片组件，该组件包含数十万个独立控制结构以精确操控电子束。尽管欧洲半导体产量在常规晶圆厂标准下微不足道，但其在低量特种芯片领域的复杂技术已成为Intel和TSMC等先进制程制造商依赖的关键环节。