华洋精机联手蔡司推出COSMA-M

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据IT之家报道，中国台湾地区半导体设备制造商华洋精机于本月5日宣布携手ZEISS（蔡司）推出COSMA-M半导体测量设备。该设备瞄准光罩、先进封装及晶圆领域的高精度测量需求，提供纳米级测量精度，稳定度达3σ＜3nm，并结合配套模块实现全自动化测量。目前已在DUV掩膜、TGV、CPO等领域获得部分潜在客户的送样验证测试。