中国发布硅-28硅烷特气与外延片

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中国科创团队发布硅-28硅烷特气与外延片，为硅基量子芯片研发提供关键材料。该成果由硅及先进半导体材料全国重点实验室、浙江大学杭州国际科创中心信息与功能材料研究院量子信息硅团队首次发布，是国家级课题项目的重要进展。硅-28硅烷特气经检测，硅-28同位素丰度达99.99576%，化学纯度99.99998%，达到国际领先水平。团队还研制出4英寸硅-28外延片，硅-28丰度为99.9937%。这两项成果打通了高丰度硅-28产业链的关键环节，填补国内空白，为硅基量子计算规模化应用夯实材料底座。