朗道燧岩展示国产EUV光源样机

发生了什么

据观察者网·人工智能报道，工博会上朗道燧岩首次公开展示了一台极紫外（EUV）光源系统样机。该光源系统国产化率达到90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。现场工作人员表示，该样机距离量产仍需3至5年，当前主要挑战在于提升输出功率和长期运行稳定性。此次亮相主要验证了技术路线可行性。