长鑫G6内存单元面积缩30%
发生了什么
据凤凰网·科技报道,国产DRAM厂商长鑫科技下一代技术平台G6指标流出。预计最快2028年推出,将继续采用DUV光刻工艺,芯片单元面积从G5代的0.00128205平方微米缩减至0.000896平方微米,降幅达30%。关键创新在于首次引入晶圆级混合键合工艺,将DRAM存储阵列与外围逻辑电路解耦制造后堆叠互联。WL间距收紧至28纳米,BL间距降至32纳米。
- 单元面积缩减幅度
- 30%
- WL间距
- 28纳米
- BL间距
- 32纳米
- AA间距
- 20纳米
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DUV光刻机榨到极限!长鑫G6内存面积再缩30%:键合工艺首次登场
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