Ushio推出LED光源UX-4系列光刻机

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据EE Times报道，Ushio公司推出UX-4系列投影光刻机，包括UX-44101SCB与UX-45114SCB型号，并已开始接受订单。该系列采用自主研发的LED光源，旨在解决传统LED设备在高曝光剂量层应用中强度不足的问题，其光强可达到传统汞灯水平。设备支持瞬时开关，旨在延长光源寿命并降低运行成本，适用于功率半导体、MEMS传感器及光电融合器件的生产。