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中国初创公司展出EUV光源原型

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发生了什么

据SCMP Tech报道,中国初创公司朗道赛力斯(Langdao Silex)在中国国际工业博览会上展示了一款自主研发的极紫外(EUV)光刻机核心光源原型。该设备被视为先进光刻系统的“心脏”,其组件实现了高度国产化,核心部件绝大多数由该公司自主开发,此举标志着中国在芯片制造设备自主化进程中迈出了关键一步。

报道与来源

1 篇

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  1. SCMP Tech来源报道

    Start-up unveils prototype ‘heart’ of EUV lithography amid China chipmaking push

来源关系与证据边界

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  1. 来源报道1 个发布入口