中微公司：存储扩产推动刻蚀设备成批采购

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据界面新闻·科技早报报道，在2026湾芯展期间，中微公司资深副总裁丛海表示，受存储厂强烈扩产意愿驱动，国产刻蚀设备订单正从小批量验证转向成批采购，客户单次采购量可达十几二十台。截至2026年6月底，中微累计已有超过8800个设备反应台在国内外220余条生产线上量产。中微计划未来五年覆盖60%以上的集成电路高端设备和70%以上的先进封装设备，并重点推介了面向极高深宽比刻蚀的Primo XD-RIE及ALD钼设备Prefima Unicore AM。