华海清科离子注入机获批量订单

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据科创板日报报道，华海清科12英寸大束流离子注入机已向国内头部晶圆厂批量交付，并获得批量重复订单，关键指标对标国际先进水平。公司管理层在2026年三季报业绩说明会上表示，该产品覆盖成熟制程并参与部分先进制程验证。此外，公司竞得上海浦东金桥地块，旨在建设研发制造基地以破解现有产能瓶颈，并与芯嵛半导体业务形成联动。